纯气在净化过程中所起的作用
来源: admin   发布时间: 2014-04-09   672 次浏览   大小:  16px  14px  12px

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     在IC的加工与制造封装中,高纯的气体可作为保护气、置换气、运载气、反应气等,为保证芯片加工与封装的成品率和可靠性,其中一个重要的环节,就是严格控制加工过程中所用气体的纯度。净化工程中所谓"高纯"或"超纯"也不是无休止的要求纯而又纯,而是指把危害IC性能、成品率和可靠性的有害杂质及尘粒必须减少到一定值以下。


  在IC封装过程中,把待减薄的晶圆,划后待粘片的晶圆,粘片固化后待压焊的引线框架(LF)与芯粒放在高纯的氮气储藏柜中可有效地防止污染和氧化;把高纯的C02气体混合人高纯水中,可产生一定量的H+,所以,混合水具有一定的消除静电吸附作用,代划片工序使用可有效地去除划痕内和芯粒表面的硅粉杂质,由此来减少封装过程中的芯粒浪费。